첨단 방위산업용 시스템반도체 사업 정보 및 수행 내용

사업 문의

사업명
반도체 챔버용 소재·부품 제조공정 및 기술지원 기반구축
사업기간
2026. 05. 01. - 2030. 12. 31.(4년 8개월)
수행기관
지자체
경상북도, 구미시
주관기관
한국세라믹기술원
공동기관
한국산업기술시험원, 구미전자정보기술원, 한국반도체산업협회
사업 필요성
  • 2nm급 초미세 공정 시대, 반도체 챔버 핵심부품(정전척·포커스 링·라이너)이 수율과 장비 가동률을 직접 좌우하는 전략적 부품으로 부상
  • 미국·일본·유럽 소수 기업이 글로벌 시장의 70% 이상을 과점하고 있으며, 국내 챔버용 소재·부품 국산화율은 30% 수준에 답보
  • R&D 성공에도 불구하고 양산 라인 투입 직전 단계에서 신뢰성 검증을 위한 공공 테스트베드 부재
  • 대구경 부품·신소재의 시제품 제작이 가능한 대규모 제조 인프라(대형 HIP, 분위기 소결로, 대면적 ALD 등) 부재
  • 극저온(-100℃)·고출력 플라즈마 등 극한 공정환경을 모사한 실증평가 인프라 확보를 통한 글로벌 벤더 등록 데이터 산출 시급
주요 시험대상

  • 3대 핵심 챔버 부품

    • 정전척 : 12인치 다층세라믹 기반 극저온 대응 정전척
    • 포커스 링 : 신소재 기반 내플라즈마 포커스 링
    • 챔버 라이너 : 고내식성 소재 기반 대면적 라이너

  • 핵심 소재군

    • 알루미나, 질화알루미늄, 이트리아
    • 합성/천연 쿼츠 이트륨 옥시플루오라이드

  • 적용 공정 : 식각, 증착 등 전 공정 챔버 공정 전반

시험장비

분말공통 시생산 라인

젯밀 및 건식 분쇄
나노밀 및 습식 분쇄
분무 건조기(수계/비수계)

정전척 제조

볼 밀 (50리터)
5리터 바스켓 밀
15리터 바스켓 밀
코터 (폭 500mm)
시트 절단기
레이저 펀처
대면적 인쇄기 (900×900 ㎜)
인쇄기(450×450 ㎜)
대면적 반자동 적층기(400×430 ㎜)
수동 적층기(200×200 ㎜)
대면적 압착기
블레이드 커터
탈바인더 오븐(Max.600℃)
대면적 고온 소결로
수소분위기 소결로
대면적 환원분위기 소성로
고진공 브레이징로

벌크 세라믹

대형 Hot Press
대형제품 등방향 성형기

쿼츠

대형 전기로
대형 잔류 응력 측정 시스템

표면처리

PVD 1
e-beam evaporator
PVD 2
ALD
Wet station (산 전용)
Wet station (염기 전용)

제조공정 라인 분석 장비

그린시트용 만능시험기
입도분석기
BET Analyzer
점도계
통기도 측정기

기본 검증 및 분석 장비

6인치 플라즈마 식각기
내전압시험기
극저온챔버
체적저항측정기
LCR meter
극저온/고온 UTM (30kN)
극저온/고온 UTM (100kN)
조도계
열팽창 측정기
기업지원범위

  • 인프라 지원

    • 첨단 제조·평가 장비 공동활용 지원
    • 클린룸 및 극한환경 유틸리티 공동활용

  • 시제품 제작 지원

    • 정전척·포커스 링·라이너 시제품 제작
    • 소재 합성-성형-코팅-완제품에 이르는 전주기 원스톱 지원
    • 공정 레시피 공동 개발 및 전수

  • 시험분석 및 검증 평가

    • 극저온 및 수소 플라즈마 환경 모사 검증
    • 식각률, 흡착력, 파티클 거동 등 실장 중심 정밀 분석
    • 공인 시험성적서 발급
    • 고장분석 및 기술지도

  • 컨설팅 및 기술지도

    • 박사급 전문연구인력 1:1 매칭 컨설팅
    • 공정 개선, 품질 향상, 애로기술 해결 등 맞춤형 기술지도

  • 산업 생태계 활성화

    • 수요-공급 기업 간 가치사슬 네트워킹 및 기술교류회 정례화
    • 전문인력 양성 및 재직자 현장 교육
주요 지원항목 및 지원기관

  • 인프라 구축·운영

    • KICET : 첨단 제조·평가 장비 및 클린룸 시설 구축·운영
    • KTL : 챔버용 소재·부품 평가·검증 장비 구축·운영

  • 시제품 제작·기술 고도화

    • KICET : End-to-End 시제품 제작, 공정 레시피 개발, 기술이전

  • 시험·평가·인증

    • KTL : 극한환경 신뢰성 평가, 공인 시험성적서 발급
    • KICET : 식각 평가 및 극한환경 검증

  • 수요 연계 및 정책

    • KSIA : 수요기업(소자·장비사) 연계, 정부 R&D 과제 협업 평가지표·인증사항 정보 제공, 반도체 산업 트렌드 공유

  • 지역 협업 네트워크

    • GERI : 구미지역 협업 네트워크 운영 / 기술교류회, 세미나, 전시회 운영 / 중소기업 맞춤형 인프라 이용 가이드·바우처 지원