표면 단차 측정기
- 구축연도
- 2026년 구축
- 약칭
- α-step
- 제조사
- Zootos
- 모델명
- KBC 001
- 담당자명
- KTL 최원렬 연구원
- 문의전화
- 031-500-0462
장비 사용 용도
- 접촉식 Styler, 비접촉식 백색광 간섭계를 활용하여 시료의 단차를 확인할 수 있음.
주요스펙
○ 접촉식(contact)
- Resolution : 1Å
- Repeatability : 5Å
- Scan Length : 50mm
- 8“ Wafer(200mm) 대응
○ 비접촉식(non-contact)
- 관찰 배율: ~28,800배 (최대)
- Laser 파장: 661nm
- 높이 측정 표시 분해능: 1nm (@공초점)
- 높이 표시 분해능: 0.01nm (@백색 간섭)