비접촉식 면저항 측정기
- 구축연도
- 2026년 구축
- 약칭
- 제조사
- SURAGUS
- 모델명
- TF Map 2530SR
- 담당자명
- KTL 최원렬 연구원
- 문의전화
- 031-500-0462
장비 사용 용도
- Eddy Current 측정을 통해 시료의 면저항을 측정할 수 있음.
주요스펙
- Substrates : Wafer, glass, foils etc.
- Real time measurement
- Scanning time
: 8 inch/200×200mm, 1.5~15min(1-10mm pitch)
: 12 inch/300×300mm, 2~6min(2.5~25mm pitch)
- Sheet resistance measurement range
: 0.001~3,000 ohm/sq
- Max. scanning area
: 12 inch/ 300×300mm
- Scanning pitch
: 1, 5, 10mm in X and Y (Selectable)
- Edge exclusion : 5~10mm