용량성 결합 플라즈마 식각기
- 구축연도
- 2026년 구축
- 약칭
- Etcher
- 제조사
- Femto Science
- 모델명
- COWIN-RF
- 담당자명
- KTL 최원렬 연구원
- 문의전화
- 031-500-0462
장비 사용 용도
플라즈마를 인가하여 시료의 내플라즈마성을 확인할 수 있음.
주요스펙
- Plasma Source : Capacitively Coupled Plasma (CCP)
- RF Power : 13.56MHz, up to 2kW
- Electrode Size : dia. 15 inches, supports sample height up to 300mm
- Gas Flow Control : Mass Flow Controller (MFC) *6 : 3 gas channels, including purge and vent lines
- Electrode Cooling System, Laser Particle Counter, Scrubber
- Vacuum System : Dry pump (1300L/min), Turbo pump (700L/sec)